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LMG2A

产品特征:

最大行程4m x 4m

以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台良好接地设计防止杂讯干扰,Z向震动可达奈米等級以下最大速度可达5m/s,标准重現精度1um或以下位置回馈系统解析度最低可达50nm。

 

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